BAG402 中真空至超高真空真空計

BAG402 中真空至超高真空真空計

INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402，測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。*的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性 和長使用壽命。
益處

測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

出色的可重復性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%

過壓檢測保護，防止燈絲燒毀

兩根長壽命氧化銥燈絲

發(fā)射電流選擇，降低控制的繁瑣

植入校準數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準性，并且易于更換

符合RoHS

典型應用

半導體工藝和傳送腔室的壓強測量

工業(yè)鍍膜

從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制
類型 BAG402

測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2)       5×10-10 … 2.7×10-2

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

重復性 

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓強, zui大   bar (absolute)  2

溫度

操作 (環(huán)境)  °C 0 … +50

儲存 °C -20 … +70

法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元    °C 80

供電電壓     +20 … +28

輸出信號模擬 (4)

輸出信號 V   0 … +10

測量范圍 log / lin   V   0 … +9

電壓 vs. 壓強    volts per decade    1

錯誤信號 V   > +10

負載阻抗, zui小   k?  10

第二模擬輸出     none

設點繼電器  

設定點數(shù)量       none

范圍   

繼電器觸點     

滯后   

觸點額定值     

數(shù)字功能     degas and emission

接口 (數(shù)字) (2)      Diagnosis port

發(fā)射控制     manual

燈絲    two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)

燈絲狀態(tài) / 繼電器    LED / relay

電氣連接     D-Sub, 9-pin, male

電纜長度，zui大值 m (ft.) 100 (330)

暴露于真空中的材料       Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   450 / 710

保護級別     IP30
353-600 BAG402 DSUB9 KF25

353-601 BAG402 DSUB9 CF40
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484 備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF

354-485 備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R